Анна Дедкова|Anna Dedkova, A.A. Dedkova

Анна Дедкова|Anna Dedkova, A.A. Dedkova

Moscow Institute of Electronic Technology - Moscow / Russia
Others
AD Scientific Index ID: 6062238
Национальный исследовательский университет
person_outline Анна Дедкова|Anna Dedkova, A.A. Dedkova's MOST POPULAR ARTICLES
1-) Dependence of mechanical stresses in silicon nitride films on the mode of plasma-enhanced chemical vapor deposition Semiconductors 52, 1953-1957, 2018
2-) Development of technological principles for creating a system of microfocus X-ray tubes based on silicon field emission nanocathodes Technical Physics 64, 1742-1748, 2019
3-) Методика измерения механических напряжений в тонких пленках на пластине с помощью оптического профилометра Известия высших учебных заведений. Электроника 21 (4), 367-372, 2016
4-) Методика измерения механических напряжений в тонких пленках на пластине с помощью оптического профилометраНА Дюжев, АА Дедкова, ЕЭ Гусев, АВ НовакИзвестия высших учебных заведений. Электроника 21 (4), 367-372, 2016
5-) The method of measurement of mechanical stresses in thin films on the plate using an optical profilometerNA Dyuzhev, NA Dedkova, EE Gusev, AV NovakIzvestiya vuzov. Elektronika, 367-372, 2016132016